巴魯夫位移傳感器選擇參數使用

更新時間：2019-08-07

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真空等級

在密閉的空間中，空氣被抽出成為無空氣

的空間。氣室內的空氣減少，氣壓下降，

產生真空。封閉空間中的空氣量越少，氣

壓越低，真空度越高。真空度分為四級。

高于1 mbar的氣壓為低真空度。低于該氣

壓時，為中等真空度。低于0.001 mbar為

高真空度，達到或低于0.000 000•1•mbar

為超高真空度。

真空應用

真空需要一個密閉的空間不存在任何空氣，

因此也不存在任何懸浮顆粒，不允許任

何“異物”存在。有時需要在真空中測量

尺寸，例如需要檢查亞微米級的超精細結

構或需要切分和檢查顆粒。直線光柵尺和

角度編碼器在真空中的常見應用包括電子

顯微鏡、機械手、多路執行器、XY工作

臺、電子束顯微鏡，半導體工業的圓晶檢

查或測量同步加速器輻射的光譜儀軸。

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